真空感应化学气相沉积炉	名 称： 真空感应化学气相沉积炉 规 格： ZGCJ—160~500—11~15 品 牌： 锦炉 简 介： 型号：ZGCJ—160~500—11~15 特点：160~500kW沉积炉是利用中频感应加热原理，在真空状态下充入碳源等气体，使之在高温下热裂解，沉积在工件上，形成一定密度的炭/炭、炭陶等复合材料。 技术指标： 1、 极限真空度(空炉冷态)：≤30Pa... [ 查看详细内容<<]