产品中心 - 真空感应化学气相沉积炉
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| 详细介绍 |
| 型号：ZGCJ—160~500—11~15 特点：160~500kW沉积炉是利用中频感应加热原理，在真空状态下充入碳源等气体，使之在高温下热裂解，沉积在工件上，形成一定密度的炭/炭、炭陶等复合材料。 技术指标： 1、 极限真空度(空炉冷态)：≤30Pa。 2、 压升率(空炉冷态)：2~6Pa/h 。 3、 额定工作温度：1100℃~1500℃。 4、 温度控制精度：≤±3℃。 5、 坩埚尺寸：φ500×1800~φ1630×3200mm。 6、 额定中频功率：160~500kW。 7、 额定中频频率：1000~2500Hz。 仪器（设备）所属领域：实验及生产用电炉 应用领域：高等科研院所、大型企业，用化学气相沉积法制备炭/炭及炭陶复合材料。 |
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